関東経済産業局長賞

省エネ型精密温調空気供給装置（特許第4875714号）

【長野県発明協会】

小林　正一	オリオン機械株式会社　技術開発本部 エンジニアリングサポート部　技術アドバイザー
𠮷岡　万寿男	オリオン機械株式会社　監査役

実 施 功 績 賞

太田　哲郎

オリオン機械株式会社　代表取締役社長

　本発明は、電子デバイス、精密機械等の加工を行う際に、加工装置周囲温度変動を±1℃以下に抑制する精密空調機において、電気ヒータを使用せずに冷凍サイクルのみで精密温調を可能とし、省エネとの両立を実現した技術に関するものである。
　本発明では、圧縮機の吐出側に配した分配手段により、加熱流路と冷却流路とを流れる熱媒体の分配比率を適宜変動させることによって、温調対象の空気に加えられる加熱量と冷却量とを調整して、高精度の温調を実現している。加えて本発明は外部熱源および冷却流路の凝縮器が放熱した熱エネルギーを、加熱流路内に配置したヒートポンプ手段により吸熱してから圧縮機に戻すという特徴を有する。
　本発明により、精密空調機内の温調機の加熱能力が向上し、広範囲にわたる温度調整が可能となり、高精度で安定性の高い温調が実現した。さらに、従来必要としていた電気ヒータを廃止できるため、省エネルギー化にも貢献している。

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