特許庁長官賞

ＵＶ−ＬＥＤ複数波長露光式直接描画装置（特許第5687013号）

【京都発明協会】

小久保　正彦	株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 第二技術開発室　室長
城田　浩行	株式会社ＳＣＲＥＥＮ　ＰＥ　ソリューションズ 開発統轄部

実 施 功 績 賞

廣江　敏朗

株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 代表取締役　取締役社長　最高経営責任者（ＣＥＯ）

　本発明は、プリント配線板上の感光材料（フォトレジストやソルダーレジスト）にフォトマスクなしで直接回路パターンを形成する露光装置の光源に関するものである。
　従来、直接描画方式の露光装置では光源に超高圧水銀ランプを用いていたが、大型で消費電力が大きく、寿命も短く、水銀を使用するため環境汚染や健康被害のリスクがある、というデメリットを抱えていた。
　本発明の光源は、離散的かつ格子状に配置された複数の高輝度ＵＶ−ＬＥＤ（紫外線ＬＥＤ）を、光学系を利用して発光部に隙間がなくなるように投影し、発光部の輝度を有効に伝達することを特徴としている。また、複数波長のＵＶ−ＬＥＤを合成することで超高圧水銀ランプを上回る光量を実現するとともに、感光材料の特性に合わせた最適な波長比率でのパターン形成を可能としている。
　本発明により、生産性が特に重視される量産用露光装置において、生産性を低下させることなく、超高圧水銀ランプをＵＶ−ＬＥＤに置き換えることが可能となった。これにより、①消費電力削減、②長寿命化、③水銀レスの直接描画方式の露光装置を広く市場に普及させ、プリント基板業界の環境負荷低減に貢献している。

Copyright©1996- Japan Institute of Invention and Innovation All rights reserved